下载Entegris的新创新ESD解决方案（摄影：商业新闻）Entegris的新创新ESD解决方案（摄影：商业新闻）全尺寸小预览缩略图全尺寸小预览缩略图2020年9月22日东部夏令时08:00马萨诸塞州比尔里卡市。——恩特格里斯公司，一家为半导体和其他高科技行业提供先进材料和工艺解决方案的世界级供应商，今天宣布引入一种独特的流体管理系统，可以去除化学输送系统中的静电电荷，而这些电荷是制造当今先进技术芯片不可或缺的。传统上用于运输半导体制造中的溶剂和其他易燃化学品的不锈钢流体管理系统无法满足当今对超低金属杂质日益增长的要求。由于氟塑料系统（PFA）生产商正在从先进的氟塑料系统转移到PFA系统。虽然PFA系统减少了不锈钢系统引入的金属污染，但由于PFA是一种不导电的电绝缘体，因此它们带来了与静电放电相关的新挑战。Entegris先进材料处理（AMH）部门流体管理副总裁Brett Reichou表示，"流经化学品输送系统的流体中存在静电电荷积聚，不仅会使系统中的流体处理部件受到静电放电事件的影响，它会导致硅片上的缺陷。他说，半导体制造过程中也会产生不安全的静电放电条件。Entegris开发了一种使用新材料的解决方案，该方案已被证明能够成功地降低流经油管的流体中的累积静电电荷以及油管外可能积聚的任何电荷。""恩特格里斯创新系统的PFA管，"Reichou说，"内部有导电条纹，配件由导电PFA制成，当密封区域与导电条纹接触时，会形成接地路径。"据AMH部门高级副总裁Bill Shaner称，Entegris受益于30多年来为高纯度处理市场提供创新连接技术，以开发其ESD解决方案，该方案同时提高了安全性并降低了潜在的缺陷。"我们已经使用我们的专有制造设备和工艺，共同挤出超纯PFA和导电PFA，形成一个单层。这种独特的PFA结构可降低金属污染，消除分层风险和潜在的夹持区域，从而保持较高的化学纯度。这种新的解决方案降低了安全风险，同时也将财产损失的风险降到最低。此外，由于管道是半透明的，因此可以对流经系统的流体进行目视检查。Entegris对新系统进行的金属萃取测试结果表明，它保持了与标准PFA管相似的纯度水平。另外，第三方测试公司证实了新系统令人满意的接地性能。"恩特格里斯的新