DownloadIn润滑油的革新新ESD解决方案（照片：商业电线）In润滑油的革新新ESD解决方案（照片：商业电线）Full SizeSmallPreviewThumbnailFull SizeSmallPreviewThumbnailSeptember 23, 2020 11:43 AM Eastern Daylight Time美国马萨诸塞州比勒利卡-（BUSINESS WIRE）-（商业电线）--为半导体及其他高科技产业提供尖端材料及工艺解决方案的世界上屈指可数的企业Intel润滑油今天宣布将投入独自的药液管理系统。这个系统消除了在今天的先进技术芯片制造中不可或缺的药液供给系统中的静电。以往用于半导体制造的溶剂和其他可燃性药液的供给的不锈钢制药液管理系统，无法应对对超微量金属杂质的今天需求的提高。结果，先进技术芯片的制造商从不锈钢制系统切换到全氟聚合物（PFA）制系统。虽然PFA系统减少了不锈钢制系统带来的金属杂质，但是由于PFA是非导电性的电气绝缘体，所以会产生静电放电带来的新课题。Inter润滑油的先进素材处理（AMH）部门的药液管理担当副社长Brett Reichow如下所述。"在药液供给系统中流通的药液中蓄积的静电的存在，不仅会对系统中的药液操作部件因静电放电现象而产生损害，还会造成硅晶圆的缺陷。另外，静电放电在半导体制造过程中可能会产生危险的状态。"Intel润滑油开发了一种新材料的解决方案，该解决方案使用了已经证实的新材料，可以减少蓄积在流过管的药液中的静电和可能蓄积在管外的静电。Reichow表示："Intel润滑油的革新系统中的PFA软管内侧有导电性的条纹，通过导电性PFA制造鱼叉，在密封区域接触导电性条纹时制作接地路径。"。根据AMH部门的高级副总裁比尔·莎纳所说，Inter润滑油利用30多年来向高纯度处理市场提供的革新性连接技术的经验优势，开发了ESD解决方案，但该解决方案同时开发了ESD解决方案提高安全性，减少缺陷的可能性。"我们使用本公司专有的制造设备和工艺，同时挤压成形超高纯度PFA和导电性PFA，产生了一个单层。这个独自的PFA构造体是低金属